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目前真空镀膜机压力控制仪控制系统呵呵

时间:2021年08月21日

真空镀膜机压力控制仪控制系统

真空镀膜机压力控制仪控制系统——汇成真空

真空镀膜机压力控制仪控制系统——汇成真空

(1)控制系统的组成

在真空装置中,由于真空工艺的需要,希望真空室内的压力保持在某一给定值上,但是,由于真空室内放气量的变化或真空泵抽气速率变化等干扰因素的影响,致使真空室内的压力偏离给定值,因而需要对压力进行自动调节。对于小型真空装置的压力自动调节,通常选用压力控制仪去实现。为压力控制仪压力自动控制系统框图。白图可知,这一控制系统是由被控对象及压力控制仪组成的闭环压力自动控制系统。真空室为被控对象,压力p是被控制量,流量Qr是进气量。真空室器壁的放气量Qo、件放气量Qr、真空系统抽气速率S(对真空室)等参数的变化量△Qo、△Qr、△S都是引起被控制量压力P偏离给定值户Pr的扰动。压力控制仪由给定电路、调节单元、测量单元及执行机构(真空微调阀)等单元组成。该系统能在压力控制范围内任意设定压力控制值;在系统出现扰动(即Qo、Qr,或S变动)时,压力P将产生波动,由于系统的自动调节作用,使压力p回复到或趋近于给定值Pr.

(2)压力控制仪的选择

压力控制仪选择的依据是真空装置及工艺对压力控制的技术要求,一般压力自动控制的技术要求是压力控制范围、控制精度、反应时间、控制气路数量、控制方式等。因此,所选用的压力控制仪必须满足如下要求:

①控制方式要符合控制要求;

②可控气路数要等于或大于所要求的气路控制数量;

③反应时间要小于要求的反应时间;

④真空测量范围要大于要求的压力调节范围;

⑤控制仪的压力调节范围要大于被控对象要求的压力调节范围,即真空微调阀流量调节范围要大于压力调节范围所要求的可以分析不同应力状态对材料强度、塑性的影响流量变化范围。

<从2017年到2022年预计复合年增长率为5.1%p>式中Pmax、Pmin——最大和最小调节压力[Pa];

Qvmax、Qvmin-一微调阀能通过的最大和最小气体流量[Pa.m3/ls];

Se一真空泵对被控对象(真空室)的有效抽气速率[m3/s].

(3)压力控制仪参数的整定

按被控对象基本控制要求选择压力控制仪构成的压力控制系统,因为真空工艺经常要求真空装置改变其工作参数,因而不一定会获得良好的控制品质。这样一来,被控对象的动态特性将产生变化。为了在不同情况下获得优良的控制品质,必须根据具体情况,设置和调整压力控制仪的PID参数,这一工作称为压力控制仪的参数整定。所谓具体情况,就是被控对象工作状态下的动态特性,通常被控对象(真空室)的特性在一定假设条件下可表示为

P= (Q/Se)。(1- expSet/V)

式中Q—真空室的总放气量[Pa.m3/S];

Se—真空泵对真空室的有效抽气速率[ m3/s];

v—真空室的容积[m3];

t—排气时间[S];

p—真空室工作压力[Pa];

上式中Q/S、V/S为表征被控对象特性的主要参数。Q/S为真空室的极限压力,若Q/S很大,则要求压力控制仪的输出作大幅度变化,才能收到所要求的调节效果;若Q/S很小,则要求压力控制仪有足够高的灵敏度。V/S表示真空室的时间常数,若压力控制仪的控制时间大于真空室的时间常数,则压力调节精度降低;若压并用毛巾擦净箱底力控制仪的控制时间太小,又会使调节过程变得不稳定而引起振荡。另外,压力控制仪的比例放大倍数太小或太大,都会引起压力控制精度变低(即偏差变大)或稳定性变差。为了适应被控对象不同的控制需要,压力控制仪通常设有Kp、Ti、Td参数调节装置(如码盘等),调整Kp、Ti、Td参数,以便寻求优良的调节品质。由于真空室中的放气量Qo变化及真空泵抽气速率Se波动是经常的、随机的,而压力控制仪的参数调节是手动如何在平常操作进程中对利用氧化铬研磨膏对研按键荷重按键曲线检测仪进行保护呢?根据我们的专业维修的调试的,很难达到最佳调节状态。为克服这一缺陷,只有利用计算机控制系统,进行自寻最佳控制。

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